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10级：十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。1000级：千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。动线规划要点：生产工艺单一，各室独立，适用于改造工程，洁净车间位置分散，洁净
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大连实验室家具无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因
